真空鍍膜機之真空腔與抽氣系統

　　高真空鍍膜機，鍍膜機是目前制作真空條件應用較為廣泛的設備。其相關組成及各部件：機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統.
　　
　　下面本人詳細介紹各部分的組成及工作原理。
　　
　　一、真空主體——真空腔
　　
　　根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用較多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。
　　
　　二、輔助抽氣系統
　　
　　此排氣系統采用“擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold”組成
　　
　　排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。
　　
　　排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。
　　
　　機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用較廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
　　
　　機械泵有很多種，常用的有滑閥式（此主要應用于大型設備）、活塞往復式、定片式和旋片式（此目前應用較廣泛，本文主要介紹）四種類型。
　　
　　機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆開性和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除較久性的氣體，但是對水氣沒有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個內切圓，轉子槽內裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
　　
　　它的兩個彈片交替起著兩方面的作用，一方面從進氣口吸進氣體，另一方面壓縮已經吸進的氣體，將氣體排出泵外。轉子每旋轉一周，泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續順時針轉動時，旋片泵不斷的通過進氣口吸入氣體，又從排氣口不斷的排出泵外，實現對容器抽氣的目的。為了提高泵的較限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的間隙中及有害空間里面經常保持足夠的油，把空隙填滿，所以油一方面起到了潤滑作用，另一方面又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用，防止氣體分子通過各種渠道反流到壓強低的空間去。
　　
　　機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數有較限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的較限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
　　
　　抽氣速率，是指旋片泵按額定轉數運轉時，單位時間內所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：
　　
　　Sth=2nVs=2nfsL
　　
　　fs表示吸氣結束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程，Vs表示當轉子處于水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內的體積非常大，轉速為n。
　　
　　機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的松緊度有關系，當電機的皮帶比較松，電機轉速很慢的時候，機械泵的排氣效果也會變差，所以要經常保養，點檢，機械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少，達不到密封效果，泵內會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般，在油位在線下0.5厘米即可。
　　
　　增壓泵又叫羅茨泵：它是具有一對同步高速旋轉的雙葉形或多葉形轉子的機械泵，由于它的工作原理與羅茨鼓風機相同，所以又可以叫羅茨真空泵，此泵在100-1帕壓強范圍內有非常大的抽氣速度，它彌補了機械泵在此范圍內排氣能力不足的缺點，此泵不能從大氣開始工作，也不能直接排出大氣，它的作用僅僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差，其余的則需要機械泵來完成，因此，它必須配以機械泵作為前級泵。
　　
　　機械泵在使用過程中，必須注意以下問題：
　　
　　1、機械泵要安裝在清潔干燥的地方。
　　
　　2、泵本身要保持清潔干燥，泵內的油具有密封和潤滑作用，因此要按照規定量添加。
　　
　　3、要定期更換泵油，更換的時候要先排出以前的廢油，周期為至少三個月至半年更換一次。
　　
　　4、要按照說明書接好電線。
　　
　　5、機械泵停止工作前要先關閉進氣閥門，再停電并公開氣閥，將大氣通過進氣口放入泵中。
　　
　　6、泵在工作期間，油溫不可以超過75攝氏度，否則會由于油的黏度過小而導致密封不嚴。
　　
　　7、要不定期檢點機械泵的皮帶松緊度、電機的轉速，羅茨泵電機的轉速，和密封圈的密封效果。
　　
　　油擴散泵：機械泵的較限真空只有10-2帕，當達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散泵。
　　
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